2-6.シリコンウエハーの用途と種類Ⅴ

シリコンウエハーの用途

実は、半導体工場で使われる多くのシリコンウエハーは、製造以外の用途でも使われます。半導体はあらゆる意味でデリケートなものです。そこで、テスト用の半導体として多くのウエハ―が使われています。製品用のウエハーに加えて、テスト用、モニタ用、搬送チェック用ウエハー、ダミーウエハーです。

①製品用ウエハー・・・本番のウエハー。実際の製品になる。

②テスト品用ウエハー・・先行で流すウエハーなどのテスト用。フルプロセスを流さず、問題になっている工程のみを流すケースもある。

③モニタ用ウエハー・・・プロセスチェックやパーティクルチェックに使用する。日常のプロセスの結果を定期的にモニターし、問題があれば条件(レシピ)にフィードバックをかけます。また、装置内のパーティクルチェックを定期的に行う場合に行う場合にも使う。

④搬送チェックウエハー・・・プロセス装置のウエハー搬送チェックなどに使用する。ウエハーの取り出し時の搬送トラブルをおこした場合に用いる。

⑤ダミーウエハー・・・バッチ式プロセス装置でウエハーフル搭載と同じ状態を作るために使用。装置周辺に常備して用いる。もちろんこれらの上派もクリーン度は製品レベルと同じ。ただ、抵抗値や結晶方法は企画はずれのものを使用するケースも多い。

ノッチタイプとオリフラタイプ

ノッチタイプとオリフラタイプ

シリコンウエハーの種類

シリコンウエハーの種類も多くあります。

ノッチウエハー・・・丸い円盤で切りかけがある。

オリフラウエハー・・・円盤が切れているような箇所がある

片面鏡面ウエハー・・・片面のみが鏡面になっています。

両面鏡面ウエハー・・・両面のみが鏡面になっています。

フラットネスウエハー・・・ウエハーのなかでも特別制度のいいものを言い、製品用として使われることは珍しく、主に測定テストの際に使われます。