超音波洗浄

人間の耳には聞こえない20kHz以上の超音波でウエハーの表面に付着した汚染やパーティクルを弾性的に弾き飛ばす作用。

○100kHz以下の周波数域

液中にキャビテーション(微小の泡)を生じさせ、破裂時の衝撃波でウエハー上の汚染・微粒子を弾き飛ばす。

○200kHz以上の周波数域

液中に振動を生じさせ、大きな運動量によりウエハー上の汚染・微粒子を弾き飛ばす。

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