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IC、LSIなどのシリコンウエハーに集積された、トランジスタ、ダイオード、抵抗などの電子部品。

ＩＣ、ＬＳＩに搭載されるトランジスタなどの素子寸法は、0.1μ以下であり、微細な加工技術が必要。