スループット
一枚あたりどれだけの時間で何枚のウエハーを処理できるかの単位。
半導体について勉強してみたマイノート
一枚あたりどれだけの時間で何枚のウエハーを処理できるかの単位。
ウエハーのサイズを現状より大きなものにする動きが大口径化で、現在は従来のラインで主体となっている200mm(直 Read More …
ライン内でウエハーを補完・搬送のために収納するもの。ウエハーキャリアなどともいう。
ロード:プロセス装置へウエハーを入れること アンロード:プロセス装置からウエハーをだすこと
スライスと呼ぶケースもある。半導体産業は米国で始まったので英語の呼称が多い。現在、半導体においてウエハーは一般 Read More …