ファインセラミックス半導体

非酸化物セラミックスの半導体的性質を利用したものであり、このファインセラミックスのうち、マンガンや亜鉛を焼いて固めたものがセラミックス半導体です。

これの応用製品として、サーミスタyアポジスタ、セラミックス赤外線ヒータ、厚膜型湿度センサなどがあります。

このため、温度や湿度のセンサとして幅広く使われています。また、ファインセラミックス半導体は温度検出だけでなく、発熱体としての特性を有するので、各種の暖房器具にも使われています。

サーミスタとは電気抵抗が温度によって変化するセンサであり、そのメカニズムは半導体の不純物電気伝導を利用しています。またこれには、電子による伝導が主体のN型と正孔による伝導が主体のP型があります。

一般に半導体の電気伝導度は電子や正孔の動きやすさ(電子移動度)との積で決まるものです。この場合、電子は正孔より動きやすく移動度はN型がP型より大きい。また電子や正孔の数は温度だけでなく素子表面の物質吸着によっても変化するので、センサ素子にはガラス膜がコーディングされています。また、サーミスタはNiO,CoO,MnOなどの金属酸化物半導体でもあり、セラミックスでもあるので比抵抗が高く小さな素子でも数キロオームから数十キロオームとなります。サーミスタの動作をわかりやすく説明した動作モデルであり、ここでは温度変化を検出する様子を表しています。