ウォーターマーク
洗浄中に現れる汚染で不完全な酸化膜。
半導体について勉強してみたマイノート
洗浄中に現れる汚染で不完全な酸化膜。
Application Specific Integrated Circuit.(エーシック)。特定用途向けの Read More …
一枚あたりどれだけの時間で何枚のウエハーを処理できるかの単位。
表面の微小な凹凸。
Ctystal Oriented Particle。ウエハー表面にできた結晶起因の欠陥。
塩酸と過酸化水素水の混合液は塩酸過水と略され、メタル汚染の除去に効果がある。
RCA洗浄の一つで、アンモニアと過酸化水素の混合液。有機汚染やパーティクルの除去に効果がある。
化学的に除去する洗浄方法。薬液に組み合わせによる洗浄液を用いる方法。RCAはRadio Corporation Read More …
人間の耳には聞こえない20kHz以上の超音波でウエハーの表面に付着した汚染やパーティクルを弾性的に弾き飛ばす作 Read More …
洗浄装置からウエハーを出すとき、必ず乾燥させた状態で洗浄装置が出すこと。ウエハーを水分が含まれた状態にしておく Read More …