コールドエバポレータ

半導体プロセスで大量に用いる窒素、酸素、アルゴンは、高純度の液体状態でファブに運ばれ、コールドエバポレータに貯蔵される。

使用する際は図のように蒸発器でガス化し、純化器で純度を上げ、分配器を通して各プロセス装置に配分される。

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