コールドエバポレータ 投稿日2016年12月18日投稿者handotaiコメントする 半導体プロセスで大量に用いる窒素、酸素、アルゴンは、高純度の液体状態でファブに運ばれ、コールドエバポレータに貯蔵される。 使用する際は図のように蒸発器でガス化し、純化器で純度を上げ、分配器を通して各プロセス装置に配分される。