ドライイン・ドライアウト 投稿日2016年12月19日投稿者handotaiコメントする 洗浄装置からウエハーを出すとき、必ず乾燥させた状態で洗浄装置が出すこと。ウエハーを水分が含まれた状態にしておくと酸化がすすむため。