超音波洗浄

人間の耳には聞こえない20ｋＨｚ以上の超音波でウエハーの表面に付着した汚染やパーティクルを弾性的に弾き飛ばす作用。

○100ｋＨｚ以下の周波数域

液中にキャビテーション（微小の泡）を生じさせ、破裂時の衝撃波でウエハー上の汚染・微粒子を弾き飛ばす。

○200ｋＨｚ以上の周波数域

液中に振動を生じさせ、大きな運動量によりウエハー上の汚染・微粒子を弾き飛ばす。