MicroElectoro Mechanical System.マイクロマシン。半導体の製造技術を活用して、チップの中に微小の機械システムを作り上げたもので、機械要素部品、センサ、アクチュエータ、電子回路をひとつに集積したデバイス。機構部と電子回路部が別チップになったハイブリッドタイプのMEMSもある。
半導体について勉強してみたマイノート
MicroElectoro Mechanical System.マイクロマシン。半導体の製造技術を活用して、チップの中に微小の機械システムを作り上げたもので、機械要素部品、センサ、アクチュエータ、電子回路をひとつに集積したデバイス。機構部と電子回路部が別チップになったハイブリッドタイプのMEMSもある。