MEMS

MicroElectoro Mechanical System.マイクロマシン。半導体の製造技術を活用して、チップの中に微小の機械システムを作り上げたもので、機械要素部品、センサ、アクチュエータ、電子回路をひとつに集積したデバイス。機構部と電子回路部が別チップになったハイブリッドタイプのMEMSもある。

コメントを残す

メールアドレスが公開されることはありません。 * が付いている欄は必須項目です

日本語が含まれない投稿は無視されますのでご注意ください。(スパム対策)